FEI Verios сканирующий микроскоп
- FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
- Электронная пушка Elstar, в том числе:
- Термополевой эмиттер Шоттки
- Возможность замены без прерывания работы
- Технология UC (монохроматор)
- Двойная объективная линза с углом 60° с защитой полюсного наконечника
- Нагреваемые апертуры объектива
- Электростатическое сканирование
- Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
- Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
- Интегрированная функция быстрого гашения пучка
FEI Verios сканирующий микроскоп
Сканирующий микроскоп FEI Verios представляет продукцию производства "Thermo Fisher Scientific". Установка является стационарным оборудованием и подлежит использованию в лабораторных условиях.
Применяется для научно-исследовательских работ в академических и промышленных лабораториях, не требует особого уровня подготовки операторов.Микроскоп предназначен для различных сфер применения. В общем случае применим в исследованиях в области естественных наук, материаловедении, нанотехнологий и микроэлектроники. Высокое разрешение до 6 нм позволяет получать контрастные изображения благодаря детекторам с большой чувствительностью.
Управление микроскопом реализовано при помощи интегрированного контроллера и ПЭВМ с применением специального программного обеспечения. ПО обладает закрытым доступом для защиты от несанкционированных действий со стороны пользователя во избежание нарушений метрологических характеристик.
- FEI Verios сканирующий микроскоп
- Онлайн-руководство пользователя
- Руководство по эксплуатации
- Программное обеспечение для дистанционного управления
Наименование характеристики |
Значение |
Тип микроскопа |
Сканирующий |
Область применения |
Материаловедение |
Направление деятельности |
2D-анализ |
Объекты интереса |
1,1 нм – 10 нм |
Характеристики электронной пушки |
|
Тип катода |
Автоэмиссионный катод типа Шоттки |
Максимальное разрешение, нм |
0,6 |
Диапазон ускоряющего напряжения, В |
350–30 000 |
Минимальная энергия приземления электронов, эВ |
20 |
Максимальный ток зонда, нА |
100 |