Scios 2 двулучевой электронный микроскоп
- NICol: неиммерсионная колонна FESEM сверхвысокого разрешения Колонна автоэмиссионного SEM высокого разрешения
- Высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки
- Срок службы источника 12 месяцев
- Простые установка и обслуживание пушки — автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения
- Автоматизированные нагреваемые апертуры
- Непрерывное регулирование тока пучка и оптимизированная апертура
- Двухступенчатое обнаружение при сканировании
- Линза с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы
- Геометрия линзы объектива 60°
- Подсказки для пользователя и предустановки
- Ионная колонна Sidewinder
- Жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока
- Срок службы источника: гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА
- Ускоряющее напряжение: от 500 В до 30 кВ
- Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней
- Стандартное гашение пучка
- Апертурная полоса с 15 положениями
- Увеличение: 40×-1,28Mх в зависимости от светофильтра
- Режим подавления смещения входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов
- Формирование изображения в высоком вакууме, оптимальное рабочее расстояние: 3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок); 5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок)
- Максимальная ширина горизонтального поля: 4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде)
- Особо широкая зона видимости (1х), достигаемая благодаря стандартному навигационному монтажу
Двулучевой микроскоп Scios 2
Микроскоп электронно-ионный растровый Scios представляет продукцию производства "FEI Company". Установка является стационарным оборудованием и подлежит применению в лабораторных условиях.
Специализируется для исследования линейных геометрических параметров компонентов топологии микроструктуры плоскости твердых материалов и текстур и выполнения местной структурной модификации поверхности твердотельных предметов направленным гетерополярным пучком.
Управление микроскопом реализовано при помощи интегрированного контроллера и ПЭВМ с применением специального программного обеспечения. Оно обладает закрытым доступом для защиты от несанкционированных действий со стороны пользователя во избежание нарушений метрологических характеристик.
- Микроскоп электронноионный растровый Scios
- Руководство по эксплуатации
- Методика поверки
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Источник электронов |
полевой катод Шоттки |
|
Диапазон тока пучка ионов галлия, нА |
от 0,0006 до 65 |
|
Разрешение в ионах, нм, не более |
5 |
|
Диапазон ускоряющего напряжения: - в электронах, кВ - в ионах, кВ |
от 0,35 до 30 от 0,5 до 30 |
|
Диапазон энергий электронов у поверхности образца (режим торможения пучка), кэВ |
от 0,02 до 30 |
|
Ширина камеры, мм, не более |
379 |
|
Аналитическое рабочее расстояние, мм |
7 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3,5 |
|
Масса консоль колонны, кг, не более |
980 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) основных составных частей, мм, не более: - консоль микроскопа с колонной - электронная консоль - рабочий стол |
1264х830х2000 800х600х800 900х1700х800 |
